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集成電路無塵車間需不需要加濕機(jī)

發(fā)布時(shí)間:2022-06-06 作者:澳宇

集成電路無塵車間需不需要加濕機(jī):集成電路無塵車間是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室,該無塵車間對(duì)環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動(dòng)、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相對(duì)于其他工業(yè)潔凈室,集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。集成電路制造對(duì)無塵車間環(huán)境的控制有較為嚴(yán)格的要求。不同的工藝制程對(duì)潔凈度的要求也各不相同,例如光刻要求在1級(jí)的微環(huán)境下,而化學(xué)機(jī)械研磨則只要求1000級(jí)的環(huán)境即可。

可以說集成電路無塵車間在對(duì)環(huán)境的要求上達(dá)到極致,不光只是溫濕度上門有要求,而且對(duì)噪聲、微振、照度等都有相關(guān)的規(guī)定和要求,尤其是振動(dòng)的控制,在潔凈室的建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上就要有所要求。

好的潔凈車間設(shè)計(jì)不僅能節(jié)省能源、降低運(yùn)行成本、降低人力投入,而且可以給生產(chǎn)提供安全可靠的保證?,F(xiàn)在很多集成電路潔凈廠房多采用FFU循環(huán)系統(tǒng),這種循環(huán)系統(tǒng)的特色是整個(gè)潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風(fēng)通道組成,由FFU提供循環(huán)空氣的動(dòng)力,將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層,靜壓層相對(duì)于工藝層為負(fù)壓。此外,還有生產(chǎn)輔助區(qū)為集成電路制造廠務(wù)設(shè)備區(qū)域,包括電力供應(yīng)、氣體和化學(xué)品供應(yīng)、超純水供應(yīng)等。

在這個(gè)系統(tǒng)中,溫濕度的控制也被納入管理,由于潔凈空調(diào)系統(tǒng)的能耗占其中的30%以上,所以一個(gè)節(jié)能安全的溫濕度控制設(shè)備就非常重要了,特別是濕度控制,因此如何選擇好的濕度控制設(shè)備可以幫助無塵車間進(jìn)行節(jié)能,可以更好的控制空氣濕度,這樣就不會(huì)出現(xiàn)境地灰塵,影響產(chǎn)品質(zhì)量。

濕度控制設(shè)備有很多,對(duì)于FFU循環(huán)系統(tǒng)來說可以選擇恒濕機(jī),或者是加濕機(jī),加濕機(jī)的節(jié)能效果很明顯,而且在防范靜電灰塵的功能上也不弱,所以它成為很多集成電路無塵車間在冬天使用控濕的首選,畢竟冬天空氣干燥,對(duì)集成電路生產(chǎn)很大,不得不防。加濕機(jī),采用超聲波霧化技術(shù),加濕速度快,操作簡單方便,是集成電路無塵車間加濕防靜電的收選擇。



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